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浚和（上海）儀器有限公司
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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)YAMATO潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。 型號(hào) DTN430C DTN630C DTN450C DTN650C 方式 氮?dú)庵脫Q+ 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán) 性能 使用溫度范圍 室溫+50～360℃ 室溫+50～500℃ 溫度調(diào)節(jié)精度 ±0.5℃（at360℃） ±1.0℃（at500℃） 溫度分布精度 ±5.0℃（at360℃） ±8.0℃（at500℃） 溫度到達(dá)時(shí)間 約80分鐘 約110分鐘 氧濃度 20ppm 以下 氧濃度到達(dá)時(shí)間 ≤ 20分（250L/min 氮?dú)猓?/span> ≤ 25分（250L/min 氮?dú)猓?/span> ≤ 20分（250L/min 氮?dú)猓?/span> ≤ 25分（250L/min 氮?dú)猓?/span> 潔凈度 溫度恒定時(shí)100級(jí) 構(gòu)成 內(nèi)裝 不銹鋼板 外裝 冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 斷熱材 硅酸鋁棉 加熱方式 不銹鋼加熱管 加熱功率 主加熱器 6.75KW 9KW 9.5KW 14.2KW N2預(yù)熱 1KW 冷卻機(jī)構(gòu) 不銹鋼冷卻水換熱器 HEPA過(guò)濾器 集塵效率：0.3um粒子99.97%以上 控制器 溫度控制方式 PID控制 溫度控制器 液晶觸摸屏+PLC 運(yùn)行功能 手動(dòng)定值運(yùn)行、自動(dòng)程序運(yùn)行 程序模式 程序運(yùn)行9個(gè)，每個(gè)程序可設(shè)置9步（可擴(kuò)展） 附加功能 操作員等級(jí)認(rèn)證 加熱器回路控制 SSR驅(qū)動(dòng) 傳感器 K型熱電偶（溫度控制及過(guò)升防止器） 安全裝置 門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、過(guò)升防止器、氧濃度異常、N2 預(yù)熱溫度過(guò)升、水壓低檢測(cè)、N2 壓力低檢測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、N2 流量檢測(cè)、 風(fēng)機(jī)過(guò)載檢測(cè)、過(guò)電流漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)等 規(guī)格 內(nèi)尺寸（寬×深×高mm） 450×450×450 660×500×660 450×450×450 660×500×660 外形尺寸（寬×深×高mm） 1090×950×1540 1300×1000×1750 1240×1010×1750 1450×1060×1960 內(nèi)容積 91L 216L 91L 216L 棚板層數(shù)/層間距 12層/30mm 19層/30mm 12層/30mm 19層/30mm 排氣口 40KF法蘭 氮?dú)馊肟?/span> Rc1/2 冷卻水入口 Rc3/4 熱水出口 Rc3/4，2個(gè) 電源（50/60Hz）額定電流 3相AC380V 16A 3相AC380V 19A 3相AC380V 20A 3相AC380V 27A 重量 約900kg 約1100kg 約900kg 約1100kg 選購(gòu)品 棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機(jī)/ 運(yùn)行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能
特點(diǎn)
● 工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過(guò)濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級(jí)，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2消耗量極低。
● 通過(guò)磁密封保持高氣密性，并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。
● 液晶觸摸屏操作，自動(dòng)/手動(dòng)兩種運(yùn)行模式。
安全性
● 擁有門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測(cè)、氮?dú)饬髁繖z測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、漏水傳感器、過(guò)電流漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)等安裝裝置。
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