蘇州晟宇氣體設備有限公司
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半導體封裝氫氮智能配氣設備采用熱式質量流量計和質量流量變送器為主體的全自動氫氮配氣設備
半導體封裝氫氮智能配氣設備采用熱式質量流量計和質量流量變送器為主體的全自動氫氮配氣設備，在PLC內完成自編程序，壓力傳感器和氣動閥門的作用下，質量流量計計算氮氣輸出流量后數據傳送給質量流量變送器嚴格控制氫氣的注入量，忽略原氣壓力，流量變化，在混合氣使用點始終得到精確配氣，混合氣輸出端氫氣分析儀監(jiān)控，驗證混合氣中氫含量，觸摸屏完成數據采集，所有參數清晰可見，更換配氣比例，一鍵完成，一鍵儲存，設備有聯鎖互鎖功能，杜絕誤操作，數據輸出端設有485接口，聯機可以完成數據遠傳，遠程控制設備工作原理；
半導體封裝氫氮智能配氣設備進入配比柜的氫氣、氮氣經配氣進口減壓穩(wěn)壓后，由各路數字氣體流量計指示各種氣體流量、壓力，然后經PLC計算控制需要注入的量，來達到配比需要的混合含量。配比在后級流量變化時自動調節(jié)需要加入的氫氣、氮氣的含量，并由分析儀實時監(jiān)測配比氣體的百分含量比。配比柜采用觸摸屏顯示并控制配氣參數，有以下幾個優(yōu)點。
1、采用數字流量計，實時顯示各路氣體的用氣量。
2、進口壓力有波動時，自動調節(jié)加入量并保持配比含量。
3、高精度壓力傳感器實時控制并監(jiān)測混合氣體壓力。
4、設各路報警，限度保證配比器的正常運行。
5，配氣裝置采用分箱式結構，由獨立控制柜和配氣執(zhí)行器組成。完成遠程控制需要
6，電器機柜全封閉設計，充氮氣正壓保護，除保護電氣外還起防爆隔離效果（選配）
7，原氣進氣口加裝顆粒小于0.1um的高精度過濾器，切實保護質量流量控制器，杜絕隱患。
8，調整配氣參數，界面清晰，數字輸入，一鍵運行，一鍵儲存，瞬時配氣，互鎖連鎖功能杜絕誤操作。
9，內置多套自編程序，質量流量計線性測量不足，小流量狀態(tài)下自動觸發(fā)轉換程序，穩(wěn)定供氣。
10，整體機柜人性化設計：移動式腳輪，移動快捷便利，帶固定平衡支撐。
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