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日立高分辨冷場發(fā)射掃描電鏡Regulus8100

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上海維翰光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品說明： Regulus8100是日立冷場發(fā)射掃描電鏡的*新系列，Regulus8100保留了SU8010易維護(hù)、易操作等優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)一步提高性能，1kV減速模式下*高分辨率達(dá)到了0.8nm，15kV達(dá)到0.7nm，高低電壓均可...

詳細(xì)介紹

Regulus8100是日立冷場發(fā)射掃描電鏡系列，Regulus8100保留了SU8010易維護(hù)、易操作等優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)一步提高性能，1kV減速模式下*高分辨率達(dá)到了0.8nm，15kV達(dá)到0.7nm，高低電壓均可滿足高分辨的觀察。

產(chǎn)品特點(diǎn)
1.沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
2.采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的*佳性能；
3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)；
4.采用污染小、高真空樣品倉；
5.運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2

應(yīng)用領(lǐng)域
2、半導(dǎo)體器件；
4、生物醫(yī)學(xué)；
技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分辨率			0.7 nm(加速電壓15 kV)0.8 nm(著陸電壓1 kV）*3	0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3
著陸電壓			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
樣品臺(tái)	樣品臺(tái)控制		3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)）	5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
	移動(dòng)范圍	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再現(xiàn)性		-	-	-	±0.5 µm以下含±0.5 µm