新一代工業(yè)級流量傳感器芯片與先進(jìn)氣路結(jié)構(gòu)的wanmei結(jié)合 S500系列產(chǎn)品采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級先進(jìn)流量傳感器芯片，結(jié)合低壓損氣路結(jié)構(gòu)以及高速數(shù)字處理電路以及溫度補(bǔ)償算法，可以實(shí)現(xiàn)最xiao0.1sccm、最da流量范圍內(nèi)的氣體流量快速控制。每臺產(chǎn)品均經(jīng)過嚴(yán)格溫度補(bǔ)償，在0-50℃內(nèi)誤差均小于1%。該產(chǎn)品可選配觸摸顯示屏、獨(dú)立供電端口，wanmei適配半導(dǎo)體、真空鍍膜、實(shí)驗(yàn)室、光伏、分析儀等各類應(yīng)用環(huán)境。