簡介

高性能MFC，為半導(dǎo)體行業(yè)量身打造

S300系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器/流量計：采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級流量傳感器，結(jié)合精細拋光氣路結(jié)構(gòu)以及高精度數(shù)字控制電路和算法，實現(xiàn)高精度、低零漂、高重復(fù)性控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場顯示屏和地址編碼開關(guān)，多種通訊方式可選、可定制全金屬密封，適配半導(dǎo)體、真空鍍膜、光伏及其它各類應(yīng)用環(huán)境 。

主要優(yōu)勢

S1 物理功能模塊豐富

頂部配置有豐富的功能模塊：

* RJ45數(shù)字通信接口(可定制

   EtherCAT或RS485協(xié)議)

* 地址編碼開關(guān)

* 現(xiàn)場顯示屏

* 狀態(tài)指示燈

此外，側(cè)面配置有M8航空供電接口，顯示直觀、操作簡單，方便用戶進行現(xiàn)場流量監(jiān)測和控制。

S2 快速響應(yīng)

1.5ms傳感器響應(yīng)時間，0.1~0.5s儀表系統(tǒng)響應(yīng)時間，及時捕捉微小流量變化。

S3 高精度

2.0%-百分F.S.全量程段保持高精度：

0.3%F.S.(≤30%F.S.)；1.0%S.P.(＞30%F.S.)

S4 配備專用上位機

配備功能強大的SmartFlow上位機軟件，支持多臺聯(lián)動，方便進行監(jiān)測和設(shè)備配置。

S5 認證產(chǎn)品

通過TüV國際機構(gòu)CE&EMC認證，或JLY一級校準(zhǔn)證書等，符合多項SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品規(guī)格

*  除非另有說明，本產(chǎn)品標(biāo)定于以下條件：氮氣、溫度25℃、2.5bar差壓(進氣口3.5bar絕壓對出氣口1bar

    絕壓)、水平放置安裝。

*  建議在入口端安裝尺寸合適的直管段，否則可能會引起精度產(chǎn)生偏差。

*  建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭，以避免導(dǎo)致額外的壓損。

1  所示量程為氮氣可選量程。

2  %F.S.指誤差占滿量程的百分比。

3  %S.P.指誤差占設(shè)定值的百分比。

4  響應(yīng)時間指達到設(shè)定值±2%以內(nèi)所需要的時間。

5  工作壓力指進氣口與出氣口(1bar絕壓)之間的差壓，更多細節(jié)請聯(lián)系我們。

 尺寸及通信