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Diener 等離子清洗機(jī) PICO

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上海爾迪儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

技術(shù)應(yīng)用鏈接:特點(diǎn)：低壓等離子系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

技術(shù)應(yīng)用鏈接:

· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理

· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能

· 4” Wafer去膠清洗

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· 操作簡(jiǎn)單易使用

型號(hào)		PICO	PICO PCCE
控制系統(tǒng)		手動(dòng)控制	PCCE 控制系統(tǒng)
工藝氣路		雙路或三路氣體
工藝氣體		O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體
單體導(dǎo)入		H2O，親疏水涂層等單體（選配）
流量計(jì)		針閥流量計(jì)（防腐蝕）	MFC流量計(jì)（防腐蝕）
真空腔體	材質(zhì)	高硼硅玻璃/石英蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀察窗	不銹鋼蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀察窗	鋁合金鉸鏈門(mén)
	圓形腔體內(nèi)尺寸(Φ×D)mm	150×320(600)*^1**	130×300( 600)*^1**	—
	方形腔體內(nèi)尺寸（W×D×H）mm	—	160×325( 600)*^1**×160mm	150×325（600）*^1**×160
	容積	5.6L~10.6L	8L~15L	7.8L~14L
電極		360度外置環(huán)繞電極	平行平板電極
發(fā)生器*		40 kHz 0-200W 100 kHz 0-500W 13.56 MHz 0-50W 或者 0-100W 或者0-300W 2.45 GHz 0-300W
真空壓力計(jì)		指針式壓力計(jì)	皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì)
計(jì)時(shí)器		模擬數(shù)字式	數(shù)字式
托盤(pán)		高硼硅玻璃，石英，不銹鋼，鋁合金
外形尺寸（WXDxH）mm		560x600-750x460-860mm
電源		AC220V 50Hz 10A
真空泵		排氣速度不小于8m3/H