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YAMATO等離子清洗機PDC200

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更新時間：2024-01-08 07:51:30瀏覽次數(shù)：188次

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浚和（上海）儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

小型桌上型高頻等離子表面處理裝置

詳細介紹

小型桌上型高頻等離子表面處理裝置。

■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>

■ 安全性·保護
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。

■ 規(guī)格

型號		PDC200
方式		RIE模式、平行平板腔體
性能	發(fā)生器功率：	0-300W
	發(fā)生器頻率：	射頻RF13.56Mhz
	發(fā)生器匹配方式：	自動匹配（Auto matching）
構(gòu)成	腔體材質(zhì)：	鋁制
	腔體內(nèi)尺寸：	W400×D250×H150mm
	反應(yīng)氣體：	二路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。
	控制方式：	全自動控制
	真空度顯示：	數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示腔體內(nèi)真空度。
	配管材質(zhì)：	SUS不銹鋼以及特氟龍
	門：	鉸鏈門
	外形尺寸：	W540×D600×H600mm
	真空泵抽速：	4m3/hour
	電源規(guī)格：	AC220V 10A
	重量：	約100kg