產品細節(jié)：AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器
AX8407A 0190-17159 是 MKS Instruments 生產的一款高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器。以下是該產品的詳細信息：
- 產品概述：
- AX8407 發(fā)生器通過無聲電放電將純氧氣轉化為臭氧，實現(xiàn)高輸出和高濃度水平。它只需要極少量的摻雜氮氣，遠低于競爭性臭氧發(fā)生器所需的水平。因此，污染物（如 NOx 化合物）的存在極低 32。
- 主要特點：
- 高臭氧濃度和流量：臭氧濃度可達 335 g/Nm3 或 21.7 wt%（在 5°C 時），氧氣流量范圍為 5 – 40 slm，提供工藝靈活性 33。
- 清潔、安全的替代化學處理：臭氧具有高氧化還原電位，可以在現(xiàn)場生成，并且容易轉化為氧氣，是一種綠色化學品，易于轉化為氧氣 33。
- 低成本擁有：無需消耗品，無需化學處理成本 33。
- 可靠性和合規(guī)性設計：可靠性測試超過 100,000 小時，符合 CE、UL/CSA 和 SEMI F47 標準 33。
AX8400
產品參數(shù)：AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器
- 臭氧輸出：臭氧輸出為 335 g/Nm3（在 5°C 冷卻水時），305 g/Nm3（在 17°C 冷卻水時） 32。
- 氧氣流量范圍：5 – 40 slm 32。
- 操作范圍：環(huán)境溫度 10 – 40°C（50 – 104°F），名義電池壓力（輸送）15 – 45 psig（100 – 310 kPa） 32。
- 控制接口：前面板控制和遠程操作 32。
- 進氣氣體：氧氣：6級或更好 O2，氮氣：100 – 1000 ppm 5級或更好 N2 32。
- 冷卻水溫度：5 – 25°C（41 – 77°F） 32。
- 冷卻水過濾：100 微米 32。
- 冷卻水質量：電阻率 ≥ 50 KΩ/cm 32。
- 最小水流量：7.6 lpm（2.0 gpm） 32。
- 電源電壓：208 VAC（±10%） 32。
- 相位：3? & GND，無中性 32。
- 電流要求：15 安培 32。
- 頻率：50/60 Hz 32。
- 重量：59 kg（130 磅） 32。
- 尺寸：483 x 445 x 267 mm（19.0 x 17.5 x 10.5 英寸）（寬度 x 深度 x 高度）
AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器 應用領域：
-
- 典型的半導體臭氧應用包括 TEOS/臭氧 CVD、Ta2O5 CVD、光刻膠剝離、晶圓清洗、污染物去除、表面調理、氧化物生長和 ALD。臭氧也非常適合用于制藥和水處理應用，包括清洗、消毒和消毒，以及原位清潔（CIP） 32。
- 產品優(yōu)勢：
- 高純度臭氧：AX8407 是市場上純度的臭氧發(fā)生器，通過無聲電放電將純氧氣轉化為臭氧，實現(xiàn)輸出濃度水平 35。
- 電池結構設計：能夠生產高濃度臭氧，閉環(huán)操作提供更嚴格的工藝控制
Product Description
The AX8407A 0190-17159 is a high concentration, high flow ozone generator manufactured by MKS Instruments. Here are the details of the product:
Product Overview:
The AX8407 generator converts pure oxygen to ozone by silent electrical discharge, achieving high output and high concentration levels. It requires only a very small amount of doped nitrogen, far less than the level required for competitive ozone generators. As a result, the presence of pollutants, such as NOx compounds, is extremely low.
Main features:
High ozone concentrations and flows: Ozone concentrations up to 335 g/Nm3 or 21.7 wt% (at 5°C) and oxygen flows in a range of 5-40 slm provide process flexibility.
Clean, safe alternative chemical treatment: Ozone has a high REDOX potential, can be generated on site, and is easily converted to oxygen, is a green chemical that is easily converted to oxygen.
Low cost ownership: no consumables, no chemical processing costs.
Reliability and Compliance design: Over 100,000 hours of reliability testing, compliant with CE, UL/CSA and SEMI F47 standards.
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