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行業(yè)產(chǎn)品

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浚和(上海)儀器科技有限公司


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YAMATO光刻膠固化爐DTPN-612GCT01

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2025-01-04 08:36:36瀏覽次數(shù):38次

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商鋪產(chǎn)品:200條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

性能(依JTM規(guī)格)使用溫度范圍:室溫+50~500℃溫度調(diào)節(jié)精度:±0.5℃(at450℃無負(fù)荷狀態(tài)下)溫度分布精度:±5℃(at450℃無負(fù)荷狀態(tài)下)JTM標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定點根據(jù)有效尺寸1/6處

詳細(xì)介紹

性 能 (依 JTM 規(guī)格 )
使用溫度范圍 : 室溫 +50~50 0℃
溫度調(diào)節(jié)精度: ±0. 5℃(at 45 0℃ 無負(fù)荷狀態(tài)下)
溫度分布精度: ±5℃(at 45 0℃ 無負(fù)荷狀態(tài)下)
JTM 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定點 根據(jù)有效尺寸 1/6 處,含槽內(nèi)中心點共測量9點
運行: 程序運行(升溫 ,恒溫,降溫 ,定時 )
定時機能 : 1min~99h59min,100~999h,
升溫速率 : ≤40min , (150~450℃≥7.5℃/min ,全程平均 )
潔凈度 : 溫度恒定時 100 級
氧濃度 : 20 ppm 以下
真空度 : 100Pa 以下
真空到達(dá)時間 : 約15min
工作狀態(tài)指示:觸摸屏上有工作過程(抽真空中 -N2置換中 -氧濃度檢測中-加熱中、 N2維持中 -恒定中 -冷卻中 -抽真空中 -空氣進(jìn)入中  -結(jié)束)


構(gòu) 造
外裝材質(zhì) : 冷扎彩鋼板 ,表面噴塑
內(nèi)裝承壓體材質(zhì) : SUS 316不銹鋼板 ,
斷熱材 : 硅酸鋁棉板
加熱器 : 鎧裝不銹鋼加熱管 380V 4.0KwX3=12Kw
加熱板220V 300 w X 14 = 4.2Kw
組合式送風(fēng)機 : 離心風(fēng)葉 φ230 X 130-1個,風(fēng)量 L=1800m3/h
變頻調(diào)速電機380V (1450/min轉(zhuǎn))
N2噴管 : N2噴頭
水冷器 : SUS盤管換熱器
過濾網(wǎng) : 耐高溫效過濾網(wǎng)HEPA( 過濾率0.3μm粒子99.9995%以上 )
門 : 單門正前面 ,門開口W660×H 660
外形尺寸 : 本體 W1150 ×D1215 ×H1697(設(shè)置時、以及突起物除外) 
內(nèi)室尺寸 : W600×D600×H600mm
容積 : 216 L
棚受段數(shù) : 17段/30mm (高度方向均分)
棚板數(shù)量 : 2枚
N2外接進(jìn)氣接頭 : 快換接頭φ10mm 一個 。
冷卻水接頭 : 快換接頭φ10mm和φ16mm各一個 。
測試孔 : 左側(cè) 1個 KF16 溫度分布精測試口、2個內(nèi)螺紋1/4的接頭,用于氧濃度和潔凈度的檢測 。
電磁閥 : 控制真空、 N2 、水的通斷時序。
重量 :  320g
電 源 :AC380V 3φ5W 50Hz 30A以下

計裝
溫度調(diào)節(jié)器 : 液晶觸摸屏加PLC, PID控制,液晶顯示,觸摸按鍵設(shè)置。
溫度傳感器 : K型熱電偶4支
壓力控制儀 : 數(shù)字式
壓力變送器 : 相對值壓力變送器
壓差計 : 用于測量內(nèi)槽與空調(diào)間之的壓差以此為依據(jù)來判定過濾器是否需清潔。
變頻 器 : 用與調(diào)節(jié)風(fēng)機轉(zhuǎn)速(由觸摸屏設(shè)定風(fēng)機頻率)
玻璃轉(zhuǎn)子流量計 : a.300L/min用于快速并保證槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下 。
                         b.15-25L/min用于維持槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下,另加預(yù)熱器保證進(jìn)入槽內(nèi)N2溫度在槽內(nèi)設(shè)定溫度,不 干擾槽內(nèi)的均勻度。 
氧濃度分析儀 : 檢測槽內(nèi)氧濃度,20ppm以下在加熱,
真空泵 : 愛發(fā)科雙級有油旋片式真空泵
溫度過升防制器 : 用于溫度異常過升的防止,
電磁閥 : 用于控制抽真空、 N2和冷卻水的開閉。 
強制門鎖緊 : 2處

保護(hù)裝置
漏電保護(hù)開關(guān) : 本體 380V 漏電保護(hù)開關(guān)
               漏電,短路,過電流保護(hù)
額定感度電流 30mA
過熱防止回路 : 溫度異常過升時,加熱器電源斷開、電機風(fēng)葉動作,并報警
送風(fēng)機電機: 當(dāng)電機過負(fù)荷時、加熱器電源斷開保護(hù)回路,并報警
N2異常 : 氮氣流量不足,加熱停止,并報警
冷卻水異常 : 流量不足,報警
門鎖 : 工作時門自動鎖
門開關(guān) : 門未關(guān)閉好,機器不會啟動,按啟動鍵,給出報警。
異常顯示 : 當(dāng)上述異常發(fā)生時、觸摸屏上報警提示框異常顯示故障內(nèi)容 ,蜂鳴器響。



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