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YAMATO潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN430C/630C/450C/650C

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潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等

詳細(xì)介紹

潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

特點(diǎn)
● 工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過(guò)濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級(jí)，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2消耗量極低。
● 通過(guò)磁密封保持高氣密性，并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。
● 液晶觸摸屏操作，自動(dòng)/手動(dòng)兩種運(yùn)行模式。
安全性
● 擁有門檢測(cè)開關(guān)、溫度過(guò)升防止器、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測(cè)、氮?dú)饬髁繖z測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、漏水傳感器、過(guò)電流漏電保護(hù)開關(guān)等安裝裝置。

規(guī)格：

型號(hào)			DTN430C			DTN630C	DTN450C	DTN650C
方式			氮?dú)庵脫Q+ 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)
性能	使用溫度范圍		室溫+50～360℃				室溫+50～500℃
	溫度調(diào)節(jié)精度		±0.5℃（at360℃）				±1.0℃（at500℃）
	溫度分布精度		±5.0℃（at360℃）				±8.0℃（at500℃）
	溫度到達(dá)時(shí)間		約80分鐘				約110分鐘
	氧濃度		20ppm 以下
	氧濃度到達(dá)時(shí)間		≤ 20分（250L/min 氮?dú)猓?/span>			≤ 25分（250L/min 氮?dú)猓?/span>	≤ 20分（250L/min 氮?dú)猓?/span>	≤ 25分（250L/min 氮?dú)猓?/span>
	潔凈度		溫度恒定時(shí)100級(jí)
構(gòu)成	內(nèi)裝		不銹鋼板
	外裝		冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝
	斷熱材		硅酸鋁棉
	加熱方式		不銹鋼加熱管
	加熱功率	主加熱器	6.75KW		9KW		9.5KW	14.2KW
		N2預(yù)熱	1KW
	冷卻機(jī)構(gòu)		不銹鋼冷卻水換熱器
	HEPA過(guò)濾器		集塵效率：0.3um粒子99.97%以上
控制器	溫度控制方式		PID控制
	溫度控制器		液晶觸摸屏+PLC
	運(yùn)行功能		手動(dòng)定值運(yùn)行、自動(dòng)程序運(yùn)行
	程序模式		程序運(yùn)行9個(gè)，每個(gè)程序可設(shè)置9步（可擴(kuò)展）
	附加功能		操作員等級(jí)認(rèn)證
	加熱器回路控制		SSR驅(qū)動(dòng)
	傳感器		K型熱電偶（溫度控制及過(guò)升防止器）
安全裝置			門檢測(cè)開關(guān)、過(guò)升防止器、氧濃度異常、N2 預(yù)熱溫度過(guò)升、水壓低檢測(cè)、N2 壓力低檢測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、N2 流量檢測(cè)、風(fēng)機(jī)過(guò)載檢測(cè)、過(guò)電流漏電保護(hù)開關(guān)等
規(guī)格	內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）		450×450×450		660×500×660		450×450×450	660×500×660
	外形尺寸（寬×深×高mm）		1090×950×1540		1300×1000×1750		1240×1010×1750	1450×1060×1960
	內(nèi)容積		91L		216L		91L	216L
	棚板層數(shù)/層間距		12層/30mm		19層/30mm		12層/30mm	19層/30mm
	排氣口		40KF法蘭
	氮?dú)馊肟?/span>		Rc1/2
	冷卻水入口		Rc3/4
	熱水出口		Rc3/4，2個(gè)
	電源（50/60Hz）額定電流		3相AC380V 16A	3相AC380V 19A			3相AC380V 20A	3相AC380V 27A
	重量		約900kg	約1100kg			約900kg	約1100kg
選購(gòu)品			棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機(jī)/ 運(yùn)行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能