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OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

LEXTOLS50003D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)(彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng))讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像

詳細(xì)介紹

LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)(彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng))讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡有4大關(guān)鍵價(jià)值:

  • 捕捉任意表面形狀
  • 快速獲得可靠數(shù)據(jù)
  • 使用簡(jiǎn)單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可
  • 測(cè)量具有挑戰(zhàn)性的樣品

價(jià)值1:捕捉任意表面形狀。

OLS5000顯微鏡 OLS5000顯微鏡

OLS5000顯微鏡的技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測(cè)量。

價(jià)值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)

快速獲得可靠數(shù)據(jù)

該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度,從而縮短您的掃描時(shí)間,簡(jiǎn)化您的工作流程,終實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。

價(jià)值3、使用簡(jiǎn)單,只需放置樣品并按一下按鈕即可

OLS5000顯微鏡測(cè)量樣品

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集功能,因而無(wú)需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測(cè)結(jié)果。

價(jià)值4、可測(cè)量具有挑戰(zhàn)性的樣品

低輸出、非接觸式無(wú)損激光測(cè)量意味著不需要樣品制備??梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品,而工作距離物鏡能夠測(cè)量深度可達(dá)25毫米的凹坑。在測(cè)量這兩類樣品時(shí),您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可。

[獲取彩色信息]
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測(cè)量樣品的表面不規(guī)則性。

[405納米激光光源]

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長(zhǎng)的減小而獲得提升。采用短波長(zhǎng)激光的激光顯微鏡相比采用可見(jiàn)光(峰值550納米)的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長(zhǎng)激光二極管獲得的橫向分辨率。

[激光共焦光學(xué)系統(tǒng)]

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過(guò)圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對(duì)比度更高的圖像

[X-Y掃描儀]

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過(guò)將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對(duì)物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

[高度測(cè)量原理]

在測(cè)量高度時(shí),顯微鏡通過(guò)自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置(Z)和檢測(cè)光強(qiáng)度(I)可以估算每個(gè)像素的光強(qiáng)變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對(duì)應(yīng),因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過(guò)峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對(duì)樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像(擴(kuò)展圖像)。

主機(jī)規(guī)格:

型號(hào) OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
總倍率 54x - 17,280x
視場(chǎng)直徑 16 μm - 5,120 μm
測(cè)量原理 光學(xué)系統(tǒng) 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡
彩色
彩色DIC
光接收元件 激光:光電倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相機(jī)
高度測(cè)量 顯示分辨率 0.5 納米
動(dòng)態(tài)范圍 16 位
可重復(fù)性 n-1 *1 *2 *6 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
精度 *1 *3 *6 測(cè)量值 +/- 1.5%
拼接圖像精度 *1 *4 *6 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長(zhǎng)度 [μm])
測(cè)量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5 *6 1 納米
寬度測(cè)量 顯示分辨率 1 納米
可重復(fù)性 3 n-1 *1 *6 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
精度 *1 *3 *6 測(cè)量值 +/- 1.5%
拼接圖像精度 *1 *3 *6 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長(zhǎng)度 [μm])
單次測(cè)量時(shí)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量 4096 x 4096 像素
測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量 3600 萬(wàn)像素
XY 載物臺(tái)配置 長(zhǎng)度測(cè)量模塊 無(wú) 無(wú) 無(wú)
工作范圍 100 x 100 mm 電動(dòng)

100 x 100 mm 手動(dòng)

300 x 300 mm 電動(dòng) 100 x 100 mm 電動(dòng) 100 x 100 mm 手動(dòng)
樣品高度 100 mm 30 mm 30 mm 210 mm 140 mm
激光光源 波長(zhǎng) 405 nm  
輸出 0.95 mW  
激光分類 2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)  
彩色光源 白光 LED
電氣功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
質(zhì)量 顯微鏡主體 約 31 公斤 約 30 公斤 約 50 公斤 約 43 公斤 約 39 公斤
控制器 約 12 公斤

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