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行業(yè)產(chǎn)品

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奧坤鑫（蘇州）機(jī)電科技有限公司


參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時(shí)間：2024-11-26 11:24:23瀏覽次數(shù)：68次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：46條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：劉總

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

編號(hào)內(nèi)容規(guī)格參數(shù)備注1整機(jī)結(jié)構(gòu)帶load port系統(tǒng)分為前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元，前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設(shè)計(jì)2等離子體源射頻等離子體源或雙頻等離子體源3反應(yīng)腔室標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)為雙反應(yīng)腔室，可根據(jù)需求定制單反應(yīng)腔室和多反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)4機(jī)械傳片單臂或雙臂高精度機(jī)械手5Wafer升降機(jī)械式Wafer pin升降結(jié)構(gòu)，Wafer pin采用特定工藝處理6前真空泵干式真空泵，根據(jù)安裝位置及工藝不同，選擇100-300m3/h規(guī)···

詳細(xì)介紹

編號(hào)

內(nèi)容

規(guī)格參數(shù)

備注

1

整機(jī)結(jié)構(gòu)

帶load port系統(tǒng)分為前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元，前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設(shè)計(jì)


2

等離子體源

射頻等離子體源或雙頻等離子體源

3

反應(yīng)腔室

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)為雙反應(yīng)腔室，可根據(jù)需求定制單反應(yīng)腔室和多反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)

4

機(jī)械傳片

單臂或雙臂高精度機(jī)械手

5

Wafer升降

機(jī)械式Wafer pin升降結(jié)構(gòu)，Wafer pin采用特定工藝處理

6

前真空泵

干式真空泵，根據(jù)安裝位置及工藝不同，選擇100-300m3/h規(guī)格

7

高真空真空泵

分子泵（水冷或CDA冷卻）

8

工藝壓力控制

自動(dòng)調(diào)壓蝶閥

9

真空檢測(cè)

管道真空計(jì)、反應(yīng)腔室全量程真空計(jì)、工藝真空計(jì)、壓差開(kāi)關(guān)

10

工藝氣體種類(lèi)

標(biāo)準(zhǔn)配置高純Ar、N2、O2，可增加其他高純工藝氣體

設(shè)備主要應(yīng)用：晶圓級(jí)封裝前表面預(yù)處理、晶圓級(jí)鍵合前表面活化、光刻膠涂覆前表面活化、晶圓表面較小particle去除、表面有機(jī)殘留去除等。


設(shè)備主要特點(diǎn)：可兼容多尺寸晶圓、可實(shí)現(xiàn)多反應(yīng)腔室定制、超潔凈反應(yīng)腔室，有效控制各種污染物、整機(jī)空間環(huán)境污染物控制、射頻等離子發(fā)生器或雙頻等離子發(fā)生器、晶圓表面損傷小，可用于帶圖形晶圓的表面活化、等離子體密度高、均勻性好。




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