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CAFS6002流量傳感器&流量計(jì)&流量表

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

CAFS6000系列氣體質(zhì)量流量傳感器是采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片制作，適用于各種用途的清潔、相對(duì)干燥性小流量氣體測(cè)量和過(guò)程控制，的封裝技術(shù)使得產(chǎn)品滿足不同范圍的流量測(cè)量，確保高靈敏度，高可靠性，高穩(wěn)定性和低成本。
CAFS6000是基于MEMS流量傳感單元和高精度數(shù)字處理和標(biāo)定電路（MCU）組成.集成的?-ΣA/D轉(zhuǎn)換器和具有內(nèi)部校準(zhǔn)功能的邏輯電路及MCU處理器共同保證了傳感信號(hào)實(shí)時(shí)有效采集，獲得精確的流量信號(hào)，并在內(nèi)部進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償算法處理，因此無(wú)需再做任何外部校準(zhǔn)補(bǔ)償，就能確保高精度的流量輸出；友好的數(shù)字化輸出通訊方式，用戶可以很方便的得到進(jìn)行通信得到相應(yīng)數(shù)據(jù)信息；產(chǎn)品應(yīng)用范圍十分廣闊。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 精度高（1.5％F.S精度）
? 線性輸出和無(wú)需溫度補(bǔ)償
? 以最小的零漂保持長(zhǎng)期穩(wěn)定性
? 固態(tài)傳感核心（無(wú)表面空洞或易碎膜），抗堵塞和壓力沖擊
? 模擬輸出（1-5 V）（也可提供I2C數(shù)字輸出）
? 快速響應(yīng)時(shí)間（6ms響應(yīng)時(shí)間）
? 流量范圍寬 0sccm-12000sccm
? 能夠適應(yīng)于相對(duì)潮濕性氣體測(cè)量

性能參數(shù)：

測(cè)試條件：Vin=12±0.1VDC，Ta=25°C。相對(duì)濕度：40％<><>
工作溫度范圍-15°C至+70°C
規(guī)格	CAFS6000 系列
規(guī)格	最小值	正常值	值	單位	備注
流量范圍	0	—	10000	sccm	可定制規(guī)格
供電電壓	8-24V			V	可定制
電流	50			mA
電壓輸出	4.96	5	5.02	V	線性
零點(diǎn)電壓輸出	0.98	1	1.02	V	線性
精度		1.5	2	%FS
重復(fù)性		±0.3		%
分辨率		0.1		%	全量程
耐壓		0.3	0.5	MPa	可定制
響應(yīng)時(shí)間	9	65	500	ms	可定制
零點(diǎn)漂移		0.2		%Year	全量程
校準(zhǔn)條件	0℃，1 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
整體材質(zhì)	碳化硅，環(huán)氧樹(shù)脂，PPS，硅作為密封材料