1.儀器X/Y/Z 三軸均采用我司自行研發(fā)的高精度位移傳感器，分辨率高達(dá)0.01um

2.F3 高精度 全閉環(huán) 自動變倍光學(xué)鏡頭

3.采用以太網(wǎng)傳輸?shù)挠跋駵y量儀專用運動控制器，高效穩(wěn)定，解決USB傳輸不穩(wěn)定的缺點

4.采用高解析度SONY CMOS傳威器進(jìn)行全局快門圖像外理 ，圖像潔晰不拖影

5.上光源采用八路分區(qū)獨立控制照明系統(tǒng) ，發(fā)光元件采用低亮減LED，使用壽命長。

6.可以7x24小時不間斷運行，XYZ 軸使用中國臺灣產(chǎn)的高精度線性導(dǎo)軌和絲桿 ，不同干市場上普遍使用的交叉導(dǎo)軌 ，具有高效和高穩(wěn)定件

7. AR-3 系列以大網(wǎng)控制器內(nèi)詈21項立體空間補(bǔ)償，大幅度提升儀器的測量精度

8.儀器工作臺考慮操作員的人生安全，采用防夾傷的工作臺。

9.Z軸鏡頭采用伺服馬達(dá)控制，Z軸鈑金置獨立固定安裝，不會跟隨Z軸升降