H30-UVL是一款FUV遠(yuǎn)紫外單色儀，其一般采用出口狹縫分光模式或者CCD探測(cè)器平場(chǎng)攝譜模式下工作。其采用非常緊湊和的光學(xué)設(shè)計(jì)，基于的單一全息像差校正環(huán)形光柵，可以獲得了非常好的圖像質(zhì)量和*的光通量。
H30-UVL 是基于EUV到UV波段范圍特別設(shè)計(jì)的一款工作在真空環(huán)境之中單色儀，其可以匹配狹縫-狹縫或者狹縫-CCD進(jìn)行工作。
H30-UVL是采用全息變間距VLS技術(shù)的單個(gè)環(huán)形像差校正光柵的單色儀。 其在光學(xué)設(shè)計(jì)方面采用優(yōu)化它的光軸以及大的出口平面上的所有方向(25x10毫米校正平面)，使其實(shí)現(xiàn)理想的一英寸陣列，從而很好地優(yōu)化了雜散光。同時(shí)，采用單一光柵布局具可以將儀器中的光學(xué)數(shù)量減少到最小，增加其在EUV和FUV區(qū)域的光通量。
技術(shù)參數(shù)
| 光學(xué)結(jié)構(gòu) | Toroidal Grating Type IV VLS single optic |
| 焦距長(zhǎng)度 | 300 mm |
| 數(shù)字孔徑 | f/6 |
| 光柵密度 | 1200 gr/mm : 50-300 nm |
| 光學(xué)鍍膜 | MgF2 optimized at 121 nm standard or Pt option |
| 光學(xué)入射角 | 70° |
| 線色散 | 2.3 nm/mm at 50 nm |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | Fast worm drive |
| 最小步距 | better than 0.2 nm |
| 真空度 | 5 10-6 mbar (HV version) 5 10-8 mbar (UHV version) |
| 泵法蘭接口 | DN63 CF |
| 入口狹縫 | Micrometric slits (10 µm to 2 mm) |
| 出口狹縫 | Micrometric slits (10 µm to 2 mm) or Adjustable CCD port |
| 入口法蘭 | DN40 KF (DN40 CF) |
| 出口法蘭 | DN40 KF for slit version (DN40 CF) DN100CF for CCD version |
| 通訊方式 | Built-in USB2, no additional controller |
