低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包含電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系出現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是使用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達到降解污染物的意圖。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，歸于常溫運轉(zhuǎn)。）
與目前國內(nèi)常用的異味氣體辦理方法相比較，等離子體工業(yè)廢氣處理技術(shù)具有以下特點：
低溫等離子體技術(shù)應(yīng)用于惡臭氣體辦理，具有處理作用好，運轉(zhuǎn)費用低價、無二次污染、運轉(zhuǎn)安穩(wěn)、操作辦理簡便、即開即用等長處。
