青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園，孵化自山東大學(xué)。公司以高端氣體質(zhì)量流量計/控制器（MFC）、薄膜真空計（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導(dǎo)體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為主營業(yè)務(wù)，通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)整合等手段，實現(xiàn)快速發(fā)展，助力國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現(xiàn)有發(fā)明專利21項，實用新型專利12項，國家一級計量證書、CE認(rèn)證、TUV?EMC認(rèn)證、防爆認(rèn)證等各類證書30余份，從核心芯片到模組、算法構(gòu)建了全鏈條技術(shù)能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院、山東大學(xué)、中科院、復(fù)旦大學(xué)等科研機構(gòu)以及國內(nèi)知名儀器儀表企業(yè)，全力打造國內(nèi)一流研發(fā)團隊。
????????公司獲評國家高新技術(shù)企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè)，承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術(shù)工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機構(gòu)，并承擔(dān)多項科技部重點研發(fā)計劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術(shù)攻關(guān)課題。
????????公司現(xiàn)有千級和萬級潔凈廠房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設(shè)有制造基地和研發(fā)中心，全面保障產(chǎn)品的高質(zhì)量、快速出貨能力，并提供專業(yè)的售前售后服務(wù)。
小流量氣體流量計（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內(nèi)的微機電（MEMS）流量傳感器芯片技術(shù)，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。
小流量氣體流量計介紹：
溫度和壓力不敏感
超快的響應(yīng)速度
多種信號輸出方式
公司專注于 MEMS 流量傳感器芯片、流量計、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字風(fēng)速計等氣體流量檢測芯片和模組的研發(fā)和銷售，晶圓制造交由國外晶圓廠代工，封裝交由母公司制造平臺負(fù)責(zé)，該平臺具有9000平米千級無塵封測車間，具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質(zhì)管理和制造認(rèn)證。相關(guān)流量計及控制器產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于氣體檢漏、氣體分析儀、實驗室、熱氧化爐、擴散爐等領(lǐng)域
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