緊湊型流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內(nèi)的流量傳感器芯片技術(shù)，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進行準確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點。操作使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數(shù)字通信方式。
半導(dǎo)體加工
分析儀器
燃燒控制器
真空技術(shù)
表面處理
食品和制藥
化工（石化）等過程控制
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緊湊型流量控制器產(chǎn)品特點 Feature
溫度和壓力不敏感
*的零點穩(wěn)定性
超快的響應(yīng)速度
良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
多種信號輸出方式
配備比例電磁閥
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緊湊型流量控制器產(chǎn)品規(guī)格
參數(shù)說明 | |
介質(zhì)要求 | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質(zhì)種類 | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 |
量 程 | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5) SLM |
精 度 | 0-50℃，讀數(shù)誤差的1%或滿量程誤差的0.8%，二者取最大值 |
分辨率 | 至低0.01SCCM |
響應(yīng)時間 | ≤0.7S |
環(huán)境條件 | |
介質(zhì)溫度 | 0~50℃ |
工作溫度 | -20~70℃ |
工作濕度 | 10%~90%RH（無結(jié)冰，無凝露） |
工作壓力 | 0~1MPa |
儲存溫度 | -20~85℃ |
電氣參數(shù) | |
供電電壓 | DC24V，紋波 ≤50mV |
功 耗 | 2.4W |
啟動時間 | <1s<> |
預(yù)熱時間 | <10ms<> |
通信接口 模擬信號（電流、電壓） | |
接口類型 | D-SUB 9針 |
電流信號 | 4-20mA (線性對應(yīng)量程) |
電壓信號 | 1-5V (線性對應(yīng)量程) |
數(shù)字信號（RS485） | |
接口類型 | RJ45、D-SUB 9針 |
通信速率 | 4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通過指令或者上位機修改） |
協(xié) 議 | RS485（默認Modbus-RTU，可定制私有協(xié)議） |
設(shè)備地址 | 1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改) |
大節(jié)點數(shù) | 250 |
機械參數(shù) | |
接頭類型 | 卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其它可選 |
主體材質(zhì) | 底座：316L不銹鋼，外殼：碳鋼 |
密封材質(zhì) | FKM氟橡膠 |
重量 | 0.75kg |
尺寸圖 Dimension
安全使用
產(chǎn)品用于有害氣體或爆炸性氣體時，須嚴格按照產(chǎn)品使用說明或咨詢公司技術(shù)人員。有關(guān)產(chǎn)品應(yīng)用的新信息，請與廠家聯(lián)系索取或訪問公司網(wǎng)站。強腐蝕性或氟化物氣體可能影響產(chǎn)品正常工作，甚至對產(chǎn)品造成毀損。產(chǎn)品經(jīng)過密封處理并在裝箱前進行過防漏試驗，在高壓下使用必須按照產(chǎn)品使用說明的限制，否則會導(dǎo)致泄漏及安全問題。
注意：未經(jīng)公司許可，任意改動或不當使用本產(chǎn)品可導(dǎo)致不可預(yù)見的損壞、人員傷害及其它有害后果，公司將不負任何責任。
產(chǎn)品保修
產(chǎn)品必須在說明書規(guī)定的正常工作條件下，嚴格按照正確的方法安裝、使用并維護保養(yǎng)。產(chǎn)品質(zhì)量保證期，從發(fā)貨之日起提供365天免費保修。維修或更換的產(chǎn)品，保修期為 90 天或延續(xù)原保修期（以更長者為準）。
芯笙微納電子科技有限公司（以下簡稱芯笙科技）不對安裝、拆卸及替換（但并不僅限于安裝、拆卸及替換）所導(dǎo)致的任何直接及間接損害和損失承擔任何責任。為避免不必要的糾紛，用戶應(yīng)將其有疑問的產(chǎn)品送還公司，公司對問題進行確認后，確定維修或替換。用戶承擔產(chǎn)品送交芯笙科技的費用及可能風險，芯笙科技承擔產(chǎn)品送還客戶的費用及可能風險。芯笙科技的所有銷售合同認定用戶自動接受此保修條件及其中芯笙科技的有限責任。僅芯笙科技有權(quán)更改、修訂保修條件或決定不執(zhí)行其條款。
注意，下列情況不適用保修條款：
1）產(chǎn)品被改變、改裝、處于說明書規(guī)定的(或之外的)不正常環(huán)境及其它任何可被視為非正常使用的情況；
2）非本公司原裝產(chǎn)品。
對于產(chǎn)品拆封后的包裝箱體、填充材料、防靜電袋等廢棄物，請按照紙張、塑料和其他垃圾進行分類處理。對于達到使用壽命的產(chǎn)品，請參照國家對電子電器產(chǎn)品的相關(guān)報廢規(guī)定進行處理。
