型號(hào) | PM-80LN | PR-80LN | |
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動(dòng)控制(自動(dòng)/手動(dòng)切換) | |
PLC(標(biāo)配)/PC(可選) | |||
操作系統(tǒng) | Windows 10 | ||
觸摸屏 | 7寸 | ||
整機(jī)規(guī)格 | 尺寸 | W850×D1100×H1700mm | |
腔體 | 尺寸 | W450×D400×H450mm | |
材質(zhì) | 鋁合金(標(biāo)配)/不銹鋼(可選) | ||
電極 | 尺寸 | W440×D317mm | |
層數(shù) | 1-8層,可選 | ||
托架 | 材質(zhì) | 鋁合金(標(biāo)配)/不銹鋼(可選) | |
層數(shù) | 1層 | ||
真空計(jì) | 皮拉尼式真空計(jì) | 1個(gè) | |
流量計(jì) | MFC質(zhì)量流量控制器 | 2個(gè);Ar、N2、O2(可選) | |
真空泵 | 機(jī)械油式旋片泵 | 1套 | |
發(fā)生器 | 中頻/射頻 | 40KHz,0~1000W | 13.56MHz,0~500W |
額定功率 | 整機(jī)峰值功率 | 4KW | |
機(jī)臺(tái)供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
選購(gòu)品 | 干式泵、氣浴電極(打孔)、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機(jī)、模溫機(jī)、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件 |