四探針電阻率測(cè)試儀

四探針電阻率測(cè)試儀

在中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類中，四探針?lè)ㄉ婕暗桨虢饘倥c半導(dǎo)體材料綜合、金屬物理性能試驗(yàn)方法、、、電工合金零件、特種陶瓷、質(zhì)譜儀、液譜儀、能譜儀及其聯(lián)用裝置、電阻器、半導(dǎo)體集成電路、工程地質(zhì)、水文地質(zhì)勘察與巖土工程、水環(huán)境有物質(zhì)分析方法、電工材料和通用零件綜合、半金屬、元素半導(dǎo)體材料、金屬無(wú)損檢驗(yàn)方法。

GB/T 6617-2009 硅片電阻率測(cè)定 擴(kuò)展電阻探針?lè)?/span>

GB/T 14141-2009 硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層薄層電阻的測(cè)定.直排四探針?lè)?/span>

GB/T 1551-1995 硅、鍺單晶電阻率測(cè)定 直流兩探針?lè)?/span>

GB/T 6617-1995 硅片電阻率測(cè)定 擴(kuò)展電阻探針?lè)?/span>

GB/T 1552-1995 硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直排四探針?lè)?/span>

本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成圖表和報(bào)表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強(qiáng)值、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

半導(dǎo)材料四探針測(cè)試儀（BEST-300C）

半導(dǎo)電材料電阻測(cè)試儀BEST-300C

特點(diǎn)：電阻精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ； 

方電阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ； 

雙電測(cè)原理，提精度和穩(wěn)定性； 

測(cè)試探頭直排和矩形可選； 

標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接； 

可配戴軟件查看和記錄測(cè)試數(shù)據(jù)； 

適用范圍

使?四探針治具測(cè)試?狀或塊狀半導(dǎo)體材料、屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率

使?開(kāi)爾?測(cè)試夾直接測(cè)試電阻器直流電阻； 

四端測(cè)試法是目前較之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成圖表和報(bào)表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求

四探針?阻測(cè)試儀是運(yùn)?四探針原理測(cè)量?塊電阻的專?儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時(shí)顯。儀器 

測(cè)試范圍0-10MΩ，分辨率0.1uΩ，電阻精度0.01%，精度2%?？?于測(cè)試半導(dǎo)體、屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率。 

參數(shù)便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差：≤±1%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%

四位半顯示讀數(shù)；十量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10檔分選；實(shí)現(xiàn)HIGH/IN/LOW分選

測(cè)量范圍寬： 電阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；

正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。

可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。

校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。

厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率。

自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.

具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。

比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

析。

顯示語(yǔ)言 英文/中文

供電模式110v/220v

提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求

半導(dǎo)材料四探針測(cè)試儀（BEST-300C）

半導(dǎo)電材料電阻測(cè)試儀BEST-300C

特點(diǎn)：電阻精度：0.01%，分辨率0.1uΩ； 

方電阻精度：1%，分辨率：0.1uΩ； 

雙電測(cè)原理，提精度和穩(wěn)定性； 

測(cè)試探頭直排和矩形可選； 

標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接； 

可配戴軟件查看和記錄測(cè)試數(shù)據(jù)； 

適用范圍使?四探針治具測(cè)試?狀或塊狀半導(dǎo)體材料、屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率

使?開(kāi)爾?測(cè)試夾直接測(cè)試電阻器直流電阻； 

四端測(cè)試法是目前較之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成圖表和報(bào)表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求

四探針阻測(cè)試儀是運(yùn)四探針原理測(cè)量塊電阻的專儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時(shí)顯。儀器 

測(cè)試范圍0-10MΩ，分辨率0.1uΩ，電阻精度0.01%，精度2%。可于測(cè)試半導(dǎo)體、?屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的阻和電阻率。 

參數(shù)便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差：≤±1%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%

四位半顯示讀數(shù)；十量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10檔分選；實(shí)現(xiàn)HIGH/IN/LOW分選

測(cè)量范圍寬： 電阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；

正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。

可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。

校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。

厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率。

自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.

具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。

比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

析。

顯示語(yǔ)言 英文/中文

供電模式110v/220v

電阻測(cè)量范圍：

電阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

電阻：1×10-5～2×105Ω

電導(dǎo)率：5×10-6～1×108ms/cm

分辨率：  醉小1μΩ