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日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000，是日立的200kV球差校正場發(fā)射透射電鏡，采用冷場發(fā)射電子槍和全自動(dòng)化的球差校正技術(shù)，在保證超高分辨率的同時(shí)大大簡化操作，實(shí)現(xiàn)高分辨觀察與易用性的*結(jié)合。HF-5000同樣具有超高空間分辨率的分析能力，配合電子能量損失譜（EELS）和大面積無窗能譜（EDS）可以對(duì)原子級(jí)圖像進(jìn)行觀察和分析，是材料微觀結(jié)構(gòu)研究的Z佳工具。
日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000
產(chǎn)品介紹：
HF-5000是日立的200kV球差校正場發(fā)射透射電鏡，采用冷場發(fā)射電子槍和全自動(dòng)化的球差校正技術(shù)，在保證超高分辨率的同時(shí)大大簡化操作，實(shí)現(xiàn)高分辨觀察與易用性的*結(jié)合。HF-5000同樣具有超高空間分辨率的分析能力，配合電子能量損失譜（EELS）和大面積無窗能譜（EDS）可以對(duì)原子級(jí)圖像進(jìn)行觀察和分析，是材料微觀結(jié)構(gòu)研究的工具。
日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000主要特點(diǎn)：
日立研發(fā)的全自動(dòng)STEM球差校正器
高穩(wěn)定、高亮度的冷場發(fā)射電子槍
TEM、STEM、SEM三位一體
大面積、大固體角的無窗能譜儀
全新設(shè)計(jì)的鏡筒和高壓系統(tǒng)
全新設(shè)計(jì)的保護(hù)罩和熒光屏相機(jī)
高穩(wěn)定性側(cè)插樣品桿
兼容日立的特殊樣品桿和FIB系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)：
| 項(xiàng)目 | 主要參數(shù) |
| 電子槍 | 冷場發(fā)射電子槍 |
| 加速電壓 | 60-200kV |
| TEM點(diǎn)分辨率 | 0.23nm |
| HAADF-STEM分辨率 | 0.078nm |
| 能譜 | 無窗SDD能譜，2 x 100mm2，固體角2.0 Sr |
| 電子能量損失譜 | Gatan GIF Quantum or Enfinium spectrometer |
| 圖像模式 | TEM明場像、BF-STEM明場像、ABF-STEM環(huán)形暗場像、HAADF-STEM高角度環(huán)形暗場像、二次電子像、電子衍射花樣、特征X射線像（可選）、EELS像（可選） |
應(yīng)用領(lǐng)域：
HF-5000作為一款球差校正冷場發(fā)射透射電鏡，其分辨率達(dá)到了亞埃級(jí)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的超細(xì)微觀結(jié)構(gòu)的觀察和分析，適用于金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、納米材料等的觀察。同時(shí)，HF-5000的TEM、STEM、SEM三位一體功能不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的研究，也可以獲得材料表面的信息。原子級(jí)分辨率的二次電子探測(cè)器可以彌補(bǔ)TEM和STEM無法觀察樣品表面的缺陷，同時(shí)相比普通的SEM又具有更高的分辨率，可以滿足樣品表面高分辨形貌和結(jié)構(gòu)觀察的需求，與TEM和STEM形成互補(bǔ)。全自動(dòng)化的球差校正過程又大大簡化了球差校正透射電鏡的使用難度，提高了觀察效率，尤其適合測(cè)試平臺(tái)和科研中心等用戶。
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