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Hatachi日立S-3700N多功能分析型可變壓掃描電子顯微鏡

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長沙科美分析儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡研究超大，超重，超高樣品的分析型掃描電鏡● Z大可載樣品直徑達(dá)300mm● Z大觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm● 在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析● 樣品室設(shè)置多種接口，可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)可以傾斜--20~+90 ● 采用節(jié)能，清潔的渦輪分子泵

詳細(xì)介紹

S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品介紹：

S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡

研究超大，超重，超高樣品的分析型掃描電鏡

● zui大可載樣品直徑達(dá)300mm
● zui大觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm
● 在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析
● 樣品室設(shè)置多種接口，可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件
● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)可以傾斜--20°~+90°
● 采用節(jié)能，清潔的渦輪分子泵

S-3700N技術(shù)參數(shù)

分辨率	SE 3.0nm，30KV(高真空模式) 10nm， 3KV(高真空模式) BSE 4.0nm，30KV（低真空模式）
放大倍率	x5~x300，000
加速電壓	0.3~30KV
低真空范圍	6~270Pa
圖像電位移	±50μm （工作距離 10mm）
zui大裝載樣品	直徑300mm

樣品臺(tái)

X	150mm
Y	110mm
Z	5~65mm
R	360°
T	-20°~90°
觀測區(qū)域	203mm直徑
樣品zui大高	110mm（工作距離10mm）
樣品臺(tái)類型	優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)

電子光學(xué)系統(tǒng)

燈絲	預(yù)對(duì)中燈絲
物鏡光闌	4孔活動(dòng)光闌4孔活動(dòng)光闌
槍偏壓	固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓
探測器	二次電子探頭 5分割半導(dǎo)體式被散射探頭
分析位置	工作距離10mm，取出角35°

顯示控制系統(tǒng)

控制模式	鍵盤鼠標(biāo)、操縱桿、旋鈕板
顯示器	液晶顯示器
輔助功能	3D動(dòng)畫演示功能電鏡操作導(dǎo)航功能樣品操作導(dǎo)航功能傾斜補(bǔ)償功能
存儲(chǔ)圖像精度	640 x 480 , 1280 x 960 2560 x 1920 , 5120 x 3840
圖片格式	BMP, TIFF, JPEG
圖像顯示模式	全屏模式：1280 x 960 標(biāo)準(zhǔn)模式：640 x 480 分割模式：640 x 480 點(diǎn) x 2 信號(hào)混合模式

真空系統(tǒng)

控制模式	全自動(dòng)
分子	210升/秒，一臺(tái)
機(jī)械泵	135升/分，一臺(tái)
保護(hù)措施	斷電保護(hù)、漏氣保護(hù)