一個集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡----FERA3,提供了超高離子束束流(束流為2µA),其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對于目前浪費時間或不可能進行的需要刻蝕的材料,F(xiàn)ERA3型儀器是一個不錯的選擇。
新一代的聚焦離子束掃描電子顯微鏡為用戶提供了的技術(shù)優(yōu)勢,例如:改進的高性能電子設(shè)備使圖像采集得速度更快,帶有靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超高速掃描系統(tǒng),內(nèi)置的編程軟件等。
FERA3的設(shè)計適應(yīng)各種各樣的SEM應(yīng)用與當今研究和產(chǎn)業(yè)的需求,其高分辨率、高電流和強大的軟件使TESCAN FIB-SEM成為優(yōu)秀的分析工具。
現(xiàn)代電子光路
的三透鏡大視野觀察(Wide Field Optics™)設(shè)計提供了許多工作與顯示模式,體現(xiàn)了TESCAN可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計
結(jié)合了完善的電子光學設(shè)計軟件的實時電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束
全自動的電子光路設(shè)置與合軸
成像速度快
使用3維電子束技術(shù)可獲取實時立體圖像
三維導航
高性能離子光路
高性能的等離子i-FIB設(shè)備使切片和材料的刻蝕既快又精確
維修簡單
現(xiàn)在保持電鏡處在優(yōu)秀的狀態(tài)很簡單,只需要很短的停機時間。每個細節(jié)設(shè)計得很仔細,使得儀器的大化,操作最簡化。
自動操作
電鏡除了可以自動化設(shè)置外,還可進行聚焦、調(diào)節(jié)對比度/亮度等自動操作。除此之外,電鏡還有樣品臺自動導航與自動分析 程序,能明顯減少操作員的操作時間。通過內(nèi)置腳本語言(Python)可進入軟件的大多數(shù)功能,包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析等。通過腳本語言用戶還可以自定義自動操作程序。
用戶界面友好的軟件與軟件工具
用戶界面友好的操作系統(tǒng)基于Windows™平臺,多用戶和多語言操作界面
同時的FIB/SEM成像,易于操作
實時圖像支持多窗口模式,可自定義實時圖像參數(shù)
圖像處理,報告生成,在線與離線圖像處理
項目管理軟件
內(nèi)置的自動診斷(自檢)
TCP/IP遠程控制,網(wǎng)絡(luò)操作與遠程進入/診斷
免費升級軟件