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德國(guó)Klocke Nanotech納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x3D Nanofinger,俗稱(chēng)納米三坐標(biāo)，是一種實(shí)用的納米精度坐標(biāo)和形貌綜合測(cè)量設(shè)備。
德國(guó)Klocke Nanotech納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x3D Nanofinger
納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x(3D Nanofinger)俗稱(chēng)納米三坐標(biāo)，是一種實(shí)用的納米精度坐標(biāo)和形貌綜合測(cè)量設(shè)備。由臺(tái)架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成. 可測(cè)量樣品外形尺寸，表面輪廓、粗糙度等，并可與超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合，進(jìn)行在線檢測(cè)、質(zhì)量控制等。系統(tǒng)可以根據(jù)樣品設(shè)定測(cè)量路徑，測(cè)量范圍達(dá)到厘米級(jí)甚至更大?，F(xiàn)已廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)械加工、MEMS器件、半導(dǎo)體微電子加工、光學(xué)、分子生物學(xué)和精密工程。
工作原理：
· Nanofinger傳感器是一個(gè)小的MEMS器件，用來(lái)監(jiān)測(cè)針尖和樣品之間的距離。這個(gè)距離小于10nm時(shí)，傳感器檢測(cè)到針尖和樣品之間的范德華力。此過(guò)程針尖跟樣品沒(méi)有接觸，即沒(méi)有任何損傷。
· Nanofinger的傳感器由一個(gè)特殊的，帶寬為幾kHz的高速電子控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)，閉環(huán)控制朝向樣品運(yùn)動(dòng)，增量為1nm直至達(dá)到理想的信號(hào)值（如，放大倍數(shù)為75%）。這時(shí)，位置信息以坐標(biāo)數(shù)據(jù)信息存儲(chǔ)下來(lái)。傳感器繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，到達(dá)下一位置，任何時(shí)候，都是1nm增量的閉環(huán)控制。同時(shí)，在X.Y和Z方向都可以實(shí)現(xiàn)厘米的運(yùn)動(dòng)行程。
· 所有運(yùn)動(dòng)方向都實(shí)現(xiàn)1nm運(yùn)動(dòng)分辨率。線掃描后非常容易地獲得三維圖像。
應(yīng)用靈活：
· 3D-Nanofinger可以作為一個(gè)模塊，應(yīng)用到其他系統(tǒng)中。
· 可以構(gòu)建成一個(gè)獨(dú)立的納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x。
· 可以與Klocke公司的機(jī)械臂組合，安裝在SEM/FIB系統(tǒng)中，進(jìn)行三維測(cè)量。“實(shí)時(shí)的圖像位置”模塊引導(dǎo)Nanofinger輕松到達(dá)鼠標(biāo)點(diǎn)擊的SEM圖像位置。
設(shè)備主要參數(shù)：
· 可選行程:
X = 20 or 50 mm2
Y = 20 or 50 mm2
Z = 10 or 20 mm2
采用花崗巖基底，XY方向行程擴(kuò)展為： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2
· 測(cè)量特性：
運(yùn)動(dòng)分辨率： 1 nm
針尖分辨率： 0.5 nm
水平與豎直方向均配有操縱傳感器
線形輪廓測(cè)量
樣品內(nèi)部與外部輪廓測(cè)量
坐標(biāo)測(cè)量功能
· 測(cè)量用探針:
針尖型金屬絲, 半徑 < 100 nm
鉤型金屬絲, 半徑< 100 nm
圓形針尖, 直徑 0.12-0.3 mm
金剛石針尖, 如用于表面壓痕
· 軟件:
針尖自動(dòng)校準(zhǔn)與逼近
2D 和 3D 圖形功能
工序設(shè)置，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜動(dòng)作自動(dòng)控制（選項(xiàng)）
應(yīng)用圖例：
· 輪廓測(cè)量
二維和三維輪廓和表面精糙度參數(shù)
TFT LCD顯示行業(yè)的金字塔結(jié)構(gòu)
· 外形測(cè)量
沿內(nèi)部及外部形狀
1.4 mm直徑的內(nèi)螺紋
· 尺寸測(cè)量
確定物體的方位和尺寸
鉆床和磨床上使用的刀具刃部的三維圖像
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