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MEMS 口氣氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。
GM-512B口氣氣體傳感器采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅固，對硫化氫、酒精、丙酮等靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等優(yōu)點。
GM-512B口氣氣體傳感器主要應(yīng)用于迷你口氣檢測儀
| 產(chǎn)品型號 | GM-512B | ||
| 產(chǎn)品類型 | MEMS口氣氣體傳感器 | ||
| 標準封裝 | 陶瓷封裝 | ||
| 檢測氣體 | 硫化氫、酒精、丙酮等 | ||
| 檢測濃度 | 0.5-50ppm(H2S) | ||
| 標準電路條件 | 回路電壓 | Vc | ≤24V DC |
| 加熱電壓 | VH | 2.5V±0.1V ACorDC | |
| 負載電阻 | RL | 可調(diào) | |
| 標準測試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 80Ω±20Ω（室溫） |
| 加熱功耗 | PH | ≤50mW | |
| 敏感體表面電阻 | Rs | 10KΩ-100KΩ(in 5ppm H2S) | |
| 靈敏度 | S | Rs(in air)/Rs(5ppmH2S)≥2 | |
| 標準測試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃；55%±5%RH | |
| 標準測試電路 | Vc:5.0V±0.1V； VH:2.5V±0.1V | ||
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