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深圳市科晶智達科技有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
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更新時間：2023-04-22 13:50:35瀏覽次數(shù)：240次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機械網(wǎng)簡要描述：小型等離子清洗機集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機控制技術(shù)、軟件編程技術(shù)，采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。另外，其樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
| 功能特點 |
|---|
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 電壓 | AC220V 10A |
| 消耗功率 | <500W（包括真空泵） |
| RF電源 | 輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz |
| 腔體 | Φ190mm×98mm |
| 細節(jié)圖 | |
| 石英管 | Φ180mm×55mm，壁厚7mm |
| 內(nèi)腔 | Φ165mm×55mm |
| 清洗電極 | Φ120mm |
| 樣品臺 | Φ150mm，有效尺寸Φ140mm |
| 樣品臺與電極間距 | 15mm-50mm可調(diào) |
| 抽氣管 | Φ12mm |
| 極限真空度 | 0.1Pa |
| 工作真空度 | 60Pa-500Pa |
| 氣路數(shù)量 | 2路（選裝） |
| 流量控制器數(shù)量 | 1、2 |
| 流量顯示儀 | 2通道 |
| 氣路接口 | Φ6mm |
| 加熱樣品臺 | Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝） |
| 冷卻水壓力 | 0.2KPa-0.4KPa |
| 工作環(huán)境 | 溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結(jié)露，海拔高度0-2000m |
| 尺寸 | 245mm×235mm×460mm（不含真空泵） |
| 重量 | 20kg（不含真空泵） |
| 可選配置 | ● 加熱樣品臺 ● 流量控制器（量程10、50、100，多可增加2個通道） |
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