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Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)

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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列 Regulus系列現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Re…

詳細(xì)介紹



Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)

超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列


       Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)

"Regulus系列"

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100 

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,觀察性能與現(xiàn)有機(jī)型相比提高了20%左右。

此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的良好性能。

*1

Regulus8240/8230/8220



特點(diǎn)

  • 沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2

  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的良好性能

  • 與現(xiàn)有機(jī)型相比分辨率提高了20%左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉(cāng)

  • 運(yùn)用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對(duì)比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察

Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)

樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V

超高分辨觀察

Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)

樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)

樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV

*2  Regulus8240/8230/8220


Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)



規(guī)格

Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)


*3  減速模式下觀察

*4  以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率

Regulus SEM Layout

Regulus系列 (超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)


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