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無(wú)塵烘烤箱

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產(chǎn)品型號(hào)EVC

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寧波艾德生儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EVC無(wú)塵烘烤箱的詳細(xì)資料：Class100CleanOvens一、設(shè)備用途:Class100潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)

詳細(xì)介紹

EVC無(wú)塵烘烤箱的詳細(xì)資料：

Class 100 Clean Ovens

一、設(shè)備用途:
Class100 潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。

三．無(wú)塵高溫試驗(yàn)箱,潔凈烘箱,無(wú)塵烤箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱,Class100 潔凈烘箱,百級(jí)無(wú)塵烤箱,100級(jí)潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

1.主要技術(shù)指標(biāo)：
   無(wú)塵等級(jí)：Class 100;                   溫度范圍： RT+20～+300℃；
   溫度均勻度：200℃±4℃;    溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
   溫控精度：±0.1℃; 工作尺寸：W800×D600×H1300
   電源：380v , 50Hz，15KW      網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理
HEPA高效過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。
M計(jì)裝可編程控制
1模式20步驟，最多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。
簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝
標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器。

設(shè)備型號(hào)	溫度范圍	內(nèi)容積	其它參數(shù)	內(nèi)尺寸（W×D×Hmm）	外尺寸（W×D×Hmm）
EVC150	(RT+60)～+200℃	150L	潔凈度：100級(jí)	500×500×600	770×1100×1,350
EVC360	(RT+60)～+200℃	320L	潔凈度：100級(jí)	600×600×900	770×1025×1850
EVC640	(RT+60)～+200℃	640L	潔凈度：100級(jí)	800×800×1000	1,030×1100×1850
EVCH150	(RT+60)～+350℃	150L	潔凈度：100級(jí)	500×500×600	770×1100×1,350
EVCH360	(RT+60)～+350℃	360L	潔凈度：100級(jí)	600×600×900	770×1025×1850
EVCH640	(RT+60)～+350℃	640L	潔凈度：100級(jí)	800×800×1000	1,030×1100×1850