上海益設節(jié)能環(huán)保科技有限公司
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更新時間：2023-10-31 07:47:14瀏覽次數(shù)：186次
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經(jīng)久耐用的真空閥。真空裝置周邊的KITZ SCT閥門系列。
在半導體、液晶制造裝置中，供給工藝腔的氣體在等離子和熱的作用下在晶圓上發(fā)生反應后，會通過真空泵強制排出。
KITZ SCT的真空閥能夠在如此嚴苛的條件保持穩(wěn)定的長期耐久性。而且，在用于反應性氣體時，可以通過加熱閥門，防止反應副生成物附著于閥門內(nèi)部，長期保持較高的防泄漏性能。
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