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氨氣反轉(zhuǎn)爐

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

應(yīng)用介紹：主要應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體，金屬電極，互聯(lián)線(xiàn)是用金屬剝離工藝，使光刻膠呈現(xiàn)倒梯形形貌，正常采用負(fù)膠工藝實(shí)現(xiàn)，因負(fù)膠有一定工藝難度和局部缺陷，例如分辨率不高，線(xiàn)寬均一性不好，倒梯形角度不穩(wěn)定等因素。行業(yè)內(nèi)大多采用氨氣條件反轉(zhuǎn)工藝，使用酚醛樹(shù)脂基的正膠，正膠曝光后會(huì)產(chǎn)生羧酸，氨氣中和酸，再進(jìn)行一次全面曝光，顯影后就可以形成倒梯形形貌，同時(shí)又保留正膠的分辨率和線(xiàn)寬穩(wěn)定性。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	NH3D4
內(nèi)膽尺寸	450450450mm；
真空度	150Pa;采用真空泵；
加熱方式	腔體外側(cè)四周加熱；
溫度	RT+10℃～ 200℃；微電腦溫度控制器，控溫精確可靠；
控溫精度	±2%℃（150℃內(nèi)）；
氨氣反轉(zhuǎn)工藝	升溫達(dá)到設(shè)定值-抽真空-達(dá)到設(shè)定值-充氨氣-取產(chǎn)品-取后曝光機(jī)反面曝光。
主要特點(diǎn)	箱門(mén)閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內(nèi)高真空度。工作室采用不銹鋼板制成，電解拋光，確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。