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聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化
差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化。
差分發(fā)射頭具有的光學(xué)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡可在設(shè)定過程中實(shí)現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整，從而改進(jìn)準(zhǔn)直過程（僅適合平面鏡應(yīng)用）。
RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個(gè)簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進(jìn)入工作腔即可校正光路，內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進(jìn)行獨(dú)立的調(diào)整，安裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置，對系統(tǒng)準(zhǔn)直的影響極小。
優(yōu)異的測量性能 — ppb穩(wěn)頻精度，超低周期誤差，輸出分辨率達(dá)到38.6 pm。
差分配置 — 測量運(yùn)動平臺相對于安裝立柱的位移，從而消除常見模式誤差，例如與環(huán)境波動有關(guān)的工作區(qū)側(cè)壁移動。
快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直 — 采用四個(gè)內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡，很簡單地在真空室外部進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整，從而消除真空室和鏡組安裝公差。
| 軸行程 | 0 m - 1 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模擬正交 = λ/4 (158 nm) 數(shù)字正交 = 10 nm RPI20分辨率 = 38.6 pm |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/s且信號強(qiáng)度 > 70%時(shí) <±1 nm 1 m/s且信號強(qiáng)度 > 50%時(shí) <±6 nm |
| 速度 | 可達(dá)1 m/s |
通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結(jié)合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能，必將成為真空室和其他空調(diào)嚴(yán)格控制環(huán)境中的應(yīng)用的理想選擇。
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