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RLD10角錐反射鏡干涉儀

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產(chǎn)品簡介

角錐反射鏡干涉儀適合長距離和高速應(yīng)用

詳細(xì)介紹

角錐反射鏡干涉儀適合長距離和高速應(yīng)用。

RLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組、的多通道條紋檢測系統(tǒng)、激光光閘和內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號(hào)。

特性與優(yōu)點(diǎn)

多軸解決方案 — 單軸和雙軸角錐反射鏡系統(tǒng)為多軸應(yīng)用提供理想解決方案。
長距離和高速度 — 角錐反射鏡干涉儀發(fā)射頭適合具有更長距離和更高速度的應(yīng)用，此時(shí)平面鏡干涉儀可能不適用。
敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號(hào)，適合功耗要求低于標(biāo)準(zhǔn)RLD特定值（即 < 2 W）的應(yīng)用。

規(guī)格

軸行程	0 m至4 m
分辨率（使用RLU配置）	模擬正交 = λ/2 (316 nm) 數(shù)字正交 = 20 nm RPI20分辨率 = 77.2 pm
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口	低于100 mm/s且信號(hào)強(qiáng)度 > 70%時(shí) <±5 nm 2 m/s且信號(hào)強(qiáng)度 > 50%時(shí) <±13 nm
速度	可達(dá)2 m/s

對(duì)于長度超過4 m的軸，請(qǐng)查看HS20激光尺系統(tǒng)，它支持長達(dá)60 m的軸。

對(duì)于非真空應(yīng)用，為了維持變動(dòng)環(huán)境條件下的精度，需要某種形式的折射率補(bǔ)償。雷尼紹提供RCU10實(shí)時(shí)正交補(bǔ)償系統(tǒng)，用于對(duì)環(huán)境變化進(jìn)行補(bǔ)償。雷尼紹供應(yīng)的角錐反射鏡可能不適于真空或接近真空的應(yīng)用。

RPI20并行接口集成到RLE系統(tǒng)中，可達(dá)到38.6皮米的分辨率（平面鏡配置）。對(duì)于具有數(shù)字輸出的增強(qiáng)分辨率，雷尼紹的REE系列細(xì)分盒能夠提供0.395 nm的分辨率（平面鏡配置）。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號(hào)，并提供并行輸出格式。有關(guān)附件的詳細(xì)信息，請(qǐng)參見RCU10補(bǔ)償系統(tǒng)和激光尺接口。

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