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PCB用水平等離子處理機(jī)PM13A

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編號(hào)項(xiàng)目技術(shù)參數(shù)1機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格1900mm(W)times;1300mm(D)times;1900mm（H）2真空室規(guī)格進(jìn)口合金鋁1300(W)×1000(H)×1350(D) mm3電極板規(guī)格13層平板式電極板（870mmtimes;610mm）4控制系統(tǒng)PC工控系統(tǒng)+PLC自動(dòng)控制5真空測(cè)定系統(tǒng)皮拉尼電阻式真空計(jì)6氣體計(jì)量系統(tǒng)精確質(zhì)量流量控制計(jì)MFC7氣體路數(shù)2mdash;5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O28等離子發(fā)生器10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可···

詳細(xì)介紹

編號(hào)	項(xiàng)目	技術(shù)參數(shù)
1	機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格	1900mm(W)×1300mm(D)×1900mm（H）
2	真空室規(guī)格	進(jìn)口合金鋁 1300(W)×1000(H)×1350(D) mm
3	電極板規(guī)格	13層平板式電極板（870mm×610mm）
4	控制系統(tǒng)	PC工控系統(tǒng)+PLC自動(dòng)控制
5	真空測(cè)定系統(tǒng)	皮拉尼電阻式真空計(jì)
6	氣體計(jì)量系統(tǒng)	精確質(zhì)量流量控制計(jì) MFC
7	氣體路數(shù)	2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等離子發(fā)生器	10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）
9	工作氣體	2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2
特點(diǎn)：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。
用途：適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。
1、印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板補(bǔ)強(qiáng)前活化。 2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗 3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化