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10級微電子潔凈室

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產(chǎn)品簡介

微電子潔凈室概述微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中廣泛應(yīng)用了高精密制造設(shè)備，這使微電子工業(yè)潔凈廠房的形式、構(gòu)造和整體建造成本都發(fā)生了極大的變化。微電子工業(yè)潔凈廠房采用多功能組合式建筑形式日益增多，微電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及其制造設(shè)備的集成化、過程控制自動......

詳細(xì)介紹

?微電子潔凈室概述

微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中廣泛應(yīng)用了高精密制造設(shè)備，這使微電子工業(yè)潔凈廠房的形式、構(gòu)造和整體建造成本都發(fā)生了極大的變化。微電子工業(yè)潔凈廠房采用多功能組合式建筑形式日益增多，微電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及其制造設(shè)備的集成化、過程控制自動化水平日益提高，安全設(shè)施日益完善，生產(chǎn)過程所需的作業(yè)人員大大減少，這些都提高了微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和安全可靠性，為生產(chǎn)環(huán)境創(chuàng)造了良好的條件。

微電子潔凈室結(jié)構(gòu)：

FFU+BAR結(jié)構(gòu)+高架地板，并設(shè)置回風(fēng)墻，頂部整個(gè)做為靜壓箱的設(shè)計(jì)。

微電子潔凈室潔凈度級別：

空氣潔凈度等級（N）	大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子）
空氣潔凈度等級（N）	0.1 um	0.2 um	0.3 um	0.5um	1um
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1 000	237	102	35	8
ISO Class 4	10 000	2 370	1 020	352	83