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傅里葉紅外氣體分析儀

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傅里葉紅外氣體分析儀

詳細(xì)介紹

描述
MKS MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜  分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分 析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。 MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能 分析含有高達(dá)40%水的氣流,能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜, 故  省出了氣體筒的成本。另外,操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操 作簡(jiǎn)便,易于維護(hù)。
MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì),高光通量  取樣單元,專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫(kù)組成。MultiGas 6030收集高分辨率的紅外光 譜與定量光譜庫(kù)分析,提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測(cè)量。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
  10ppb- 99%靈敏度對(duì)于絕大多數(shù)有毒有 害氣體
 易于移動(dòng)從一處移到另一處,設(shè)置僅需幾 分鐘
 同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體
 分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜, 省去了氣體筒的 成本
 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定 溫度
應(yīng)用
 煙囪監(jiān)測(cè)器
 工藝監(jiān)測(cè)改進(jìn)和優(yōu)化
 空氣環(huán)境分析
光譜分析
Multigas的分析器有個(gè)具有定量和多功能 的分析軟件,它能同時(shí)分析和報(bào)道許多混合  物的濃度,這個(gè)能在個(gè)人電腦上運(yùn)行的軟件, 能對(duì)分析器直接量測(cè)到的氣體溫度和壓力的  變化進(jìn)行自動(dòng)修正。樣本的收集和分析在一  秒內(nèi)完成,進(jìn)行瞬時(shí)分析。
 線性檢測(cè)器,確保所有分析儀 維持在相同的校準(zhǔn)條件下
 頻率和分辨率診斷,確保校準(zhǔn)恒定
 提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度
 用戶操作簡(jiǎn)便軟件界面, 稍加培訓(xùn)即可操 作
 氣體純度分析
 燃燒排放監(jiān)測(cè)
 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測(cè)
殘留光譜:除去樣本示范的校準(zhǔn)
整個(gè)數(shù)據(jù)整理過(guò)程中, MultiGas 軟件一 邊計(jì)算SETUP里面選擇氣體的濃度, 一邊不 斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷
史的圖表和列表形式,測(cè)得的光譜和殘余光
譜。這個(gè)殘余光譜能被用來(lái)確定分析的誤差,  使得QA/QC變得簡(jiǎn)單和真實(shí)。當(dāng)解決了所有   被提及的光譜后,殘留光譜就描繪“剩余的” 光譜信息一次。 一旦光譜被收集和保存,這
些光譜可以在任何時(shí)候利用同樣或不同的零 點(diǎn)設(shè)定進(jìn)行再工藝。
工藝的時(shí)間線
半導(dǎo)體堆的紅外光譜:樣品(),校準(zhǔn)(有顏 色的) MultiGas 6030能同時(shí)區(qū)分相似的分子
對(duì)應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計(jì),
2102傅利葉變換紅外分光計(jì)是緊湊和粗糙  的,能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作,是 可用的處理FTIR方式中快速,靈敏和穩(wěn)定  的!另外,它能在在惡劣環(huán)境下操作,具有 對(duì)高溫,振動(dòng)和溫度變化的免疫。更可貴的是,高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是標(biāo)準(zhǔn)的,為分析提供低噪音的紅外光譜。
2102 傅立葉變換紅外分光計(jì)
這個(gè)分光計(jì)連接到一個(gè)小體積(200mL)
多變換,有5.11米有效通道的氣室,這個(gè)氣室 的設(shè)計(jì)結(jié)合了非球面的,非端正的鏡子,它
能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學(xué)吞吐量 。做為選擇,一個(gè)單變換的氣室能用于很高 濃度的高腐蝕或者強(qiáng)吸收率的氣體,任何一 種氣室在環(huán)境溫度到191℃之間操作。 
5.11米光路, 200毫升,長(zhǎng)通道測(cè)量氣室8- 1/2” x 2” x
3- 1/2”, 運(yùn)用非端正光學(xué)以達(dá)到高的靈敏性
儀器的自主校準(zhǔn)
MultiGas 的軟件有多點(diǎn)校準(zhǔn)圖,能提供 一個(gè)動(dòng)態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級(jí).許多核數(shù) 的校準(zhǔn)都由其提供,另外,用戶也可以通過(guò) 已知的濃度來(lái)進(jìn)行校準(zhǔn)。 MultiGas 軟件檢驗(yàn) 每個(gè)工具的性能的效用, 使它能把一個(gè)已經(jīng) 在一臺(tái)機(jī)器上校準(zhǔn)的的值用于其他任何一臺(tái) 機(jī)器上,而且不用變更。 
規(guī)格
分析儀主機(jī)
測(cè)試技術(shù) 傅利葉變換紅外光譜
可測(cè)試氣體或水蒸氣 絕大多數(shù)分子除了氮?dú)猓?氧氣和氫氣
范圍 濃度從10ppb到99%
傅利葉變換紅外 2102制成傅利葉變換紅外
光譜分辨率 0.5 - 128cm- 1
掃描速度 每秒1次在0.5cm-1
掃描時(shí)間 1 - 300秒
紅外源 碳化硅在1200℃
參考激光 氦氖(15798.2cm-1)
檢測(cè)器 液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT(汞-鎘-碲化物)
清潔(Purge)壓力 20PSI(1.5bar)
光譜室Purge流量 0.2升/分,干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無(wú)二氧化碳的 干燥空氣
光學(xué)系統(tǒng)Purge流量 0.2升/分,干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無(wú)二氧化碳的 干燥空氣
壓力傳感器 MKS Baratron 電容式薄膜壓力傳感器
Purge連接 Swagelok 快速接頭
電腦要求 臺(tái)式或筆記本電腦帶Intel奔騰處理器,微軟Wingdows XP操作系統(tǒng), 1024 X 768顯示
通訊口 RJ-45交叉以太網(wǎng)
輸出選件 XML,模擬, AK,其他
尺寸 445mm寬 X 318mm高 X 648mm深
安裝 可安裝于19英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜
電源 110V或220V ,50/60hz,3A
重量
分析儀采樣參數(shù)
50公斤
采樣溫度
采樣速流
采樣壓力
室溫至200℃(取決于校準(zhǔn)溫度)
0.2 - 10升/分
0.01 - 4大氣壓(取決于校準(zhǔn)壓力)


分析儀氣體室

結(jié)構(gòu) 鍍鎳鋁,或316不銹鋼焊接選件
接頭 Swagelok勇或VCR勇
采樣壓力 1個(gè)大氣壓(取決于校準(zhǔn)壓力)
管道 加熱不銹鋼
鋁襯底鎳板,鍍金
窗口 KBr;CaF2, ZnSe(其他可選)
“O”型密封圈 Viton勇 ,(其他可選)

 
檢測(cè)極限
5.11米氣室, MCT檢測(cè)器在0.5cm- 1分辨率下,下列典型氣體檢測(cè)數(shù)據(jù)為:
 

名稱 分子式 20/20氣室, 5分鐘檢測(cè) 時(shí)間下的檢測(cè)值 20/20氣室, 1秒鐘檢測(cè)時(shí) 間下的檢測(cè)值
氨氣 NH3 30ppb 0.5ppm
二氧化碳 CO2 12ppb 0.2ppm
一氧化碳 CO 72ppb 1.2ppm
甲醛 H2CO 36ppb 0.6ppm
HCl 87ppb 1.5ppm
甲烷 CH4 36ppb 0.6ppm
二氧化氮 NO2 24ppb 0.4ppm
氧化氮 NO 210ppb 3.6ppm
氧化二氮 N2O 30ppb 0.5ppm
四氟化硅 SiF4 10ppb 0.15ppm
二氧化硫 SO2 36ppb 0.6ppm
四氟化碳 CF4 2.5ppb 40ppb
二甲苯磺 C8H10 60ppb 1.0ppm

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