相確精密儀器（上海）有限公司
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通過整合光學顯微鏡和的測量能力實現(xiàn)精確測量多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗，成就了優(yōu)異的觀察性能
通過整合光學顯微鏡和的測量能力實現(xiàn)精確測量
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗，成就了優(yōu)異的觀察性能。STM7奧林巴斯測量顯微鏡系列采用了當前的UIS2無限遠校正光學系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被消除，以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量。
明場圖像 | 暗場圖像 |
微分干涉圖像 | 偏光圖像 |
花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性
STM7-LFFEM分析 | 為了進一步保證測量精度，STM7測量顯微鏡系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達亞微米水平，同時確保較大程度地降低誤差。 |
作為高度測量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量
共聚焦自動對焦系統(tǒng)光路 | 隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應了這種與日俱增的需求。 |
嚴格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務。
測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測量顯微鏡設計注重易用性
提供載物臺以適合眼下的樣本大小
[常見問題]
? 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
? 目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時，效率不高。
? 由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量。
[STM7解決方案]
共有四種的正方形測量行程的載物臺可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
? 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
STM7-CS50 50mm x 50mm | STM7-CS100 100mm x 100mm |
STM7-CS200 200 mm x 200 mm | STM7-CS300 300 mm x 300 mm |
使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察
[常見問題]
大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以專用測量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無法同時滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
STM7測量顯微鏡可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學系統(tǒng)和測量光學系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測量大型樣品還是精細樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應并協(xié)助用戶選擇的觀察方法。
測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候，無需擔心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場。
金相物鏡可以得到和光學顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場觀察之外還可以對應暗場，偏光和微分干涉觀察。
明場圖像 | 暗場圖像 |
手動和電動調(diào)焦模式的選擇
STM7測量顯微鏡系列包括手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩個系列對于Z軸的上下調(diào)焦，有手動型和電動型兩種系列供您選擇。請根據(jù)樣品和測量內(nèi)容選擇符合您需求的機型，而不需要考慮載
物臺的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標尺，各種型號STM7都可以對應3軸測量。
手動Z軸調(diào)焦機型 | 手動Z軸調(diào)焦機型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。 |
電動Z軸調(diào)焦機型 | 使用電動調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類似手動的方式進行操作，同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。 |
一個具有突破性設計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性[常見問題]
? 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導致無法高效率地進行測量。操作時也經(jīng)常會發(fā)生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案]
控制裝置
對于STM7測量顯微鏡系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作，包括重置計數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。
用于手動Z軸調(diào)焦機型： STM7-HS手動操作裝置 | 用于電動Z軸調(diào)焦機型： STM7-MCZ電動操作裝置 |
控制箱
各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設計可以極大程度地減少占用工作空間。
大大提高了觀察和測量效率的光源管理器
[常見問題]
? 傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實現(xiàn)光強的定量控制。這樣每次測量時的光強無法保持一致，導致測量值也發(fā)
生變化。
? 使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強，這使得工作流程非常低效。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
| STM7測量顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)光強的定量數(shù)字化顯示，保證了能在一致的照明條件下實施觀察。 |
物鏡切換時，無需手動調(diào)節(jié)光強
光強度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會自動識別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預設
值功能，可以為每個物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當切換物鏡后，可以自動調(diào)節(jié)光強和調(diào)整照明方式。象以前每次
切換倍率后手動調(diào)節(jié)光強的操作，現(xiàn)在就可以省略了。
5倍 強度50 | 20X 強度70 | 100X 強度120 |
可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數(shù)器，確保能隨時迅速地檢查測量結(jié)果和設備狀態(tài)。
[常見問題]
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設備運行狀以及測量結(jié)果時，因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了然確認當前狀態(tài)的計數(shù)器
計數(shù)器帶有顯示設備狀態(tài)和設置的指示燈，可以簡單的實現(xiàn)對設備當前設定狀態(tài)的確認。X、Y和Z軸的最小單位可以在
0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數(shù)器
無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上，可拆卸式計數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習慣放置在位置。當用戶站
著進行測量時，可以將計數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當用戶通過數(shù)碼相
機在顯示器上進行觀察和測量，或使用電動Z軸調(diào)焦機型時，只需將計數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進
行作業(yè)。
計數(shù)器安裝在鏡架上 | 計數(shù)器放置在工作臺上 |
高度測量：聚焦導航系統(tǒng)
實現(xiàn)更快、更簡單、更精確的高度測量
[[常見問題]
進行目視測量時，不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外，這種測量方法非常耗時，效率低下。
[STM7解決方案]
具有的重復性、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場范圍內(nèi)，由操作者確認上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導航系統(tǒng)實現(xiàn)了重復性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)合焦的圖像，也會出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導航系統(tǒng)，只需匹配標記便可進行測量，因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。
目視高度測量
聚焦導航系統(tǒng)
焦點下方 | 焦點位置 | 焦點上方 |
自動聚焦的優(yōu)勢成就快速、高精度的高度測量
[常見問題]? 進行目視測量時，不同的操作者得出的高度測量結(jié)果也會不一樣。
? 手動高度測量需要操作者反復進行移動載物臺，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測量既耗時又低效。
? 很難對微小的物體聚焦，比如引線。
[STM7解決方案]
快速、精準的聚焦和不受操作者主觀影響的測量
奧林巴斯開發(fā)了STM7系列專用的自動聚焦單元，該單元在實現(xiàn)快速聚焦的同時，保障了的對焦重復性。因此，無論操作
者的經(jīng)驗如何，均可以在很短的時間內(nèi)實現(xiàn)高度精確的高度測量。無論操作者的經(jīng)驗如何，使用STM7專用自動對焦單元均可
以在短時間內(nèi)實現(xiàn)高度精確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動反射、共聚焦方法都可以實現(xiàn)穩(wěn)定對焦，而小直徑的激光，也能保證對微小物體，比如引線的自動對焦。
單次對焦模式
執(zhí)行自動聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉(zhuǎn)為視場中心的清晰對焦。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦，即使在移動工作臺的情況下，也可以始終保持合焦狀態(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實施觀察，從而極大地提高了Z軸的測量效率。
拓寬了測量觀察范圍的配件
編碼物鏡轉(zhuǎn)換器
| 將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率。同時切換倍率 時也能與軟件中記錄的校準值和光強連動調(diào)整設置。有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇。 |
MM6-EMO正像單目鏡筒
| 正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。 |
STM7-FS腳踏開關
| 實現(xiàn)了不需要用手進行數(shù)據(jù)傳輸，使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量。 |
SZ-LW61白光LED照明裝置
| 具有小型，輕便，使用壽命長，功耗低等特點。此外，這款高性價比的LED照明單元也不會發(fā)生閃爍和亮度波動。 |
SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動控制裝置
| SZX-RHS手動控制單元可以實現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明，并提供具有較高色溫的清晰圖像?？梢詮?3種模式中選擇的照明。 |
旋轉(zhuǎn)載物臺
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊。
STM7-RS100 STM7-CS100 100mm×100mm載物臺 | STM7-RS200 STM7-CS200 200mm×200mm載物臺 | STM7-RS300 STM7-CS300 300mm×300mm載物臺 |
測量支持系統(tǒng)
即使對復雜形狀也能實現(xiàn)更快、更簡單、更精確的測量對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。為了支持高精度、高復雜性的測量，奧林巴斯測量軟件可以和數(shù)碼照相機結(jié)合使用。
技術(shù)規(guī)格
| 小型手動鏡架 STM7-SF | 小型電動鏡架 STM7-SFA | 中型手動鏡架 STM7-MF | 中型電動鏡架 STM7-MAF | 大型手動鏡架 STM7-LF | 大型鏡架 STM7-LFA | |||
| 顯微鏡 鏡架 | 聚焦 | 垂直移動范圍 | 175 mm | 145 mm | ||||
| 的測量高度 | 120 mm（配備測量物鏡） 175 mm（配備金相物鏡） | 90 mm（配備測量物鏡） 145 mm*1（配備金相物鏡） | ||||||
| Z軸測量分辨率 | 0.1 μm | |||||||
| Z軸驅(qū)動方法 | 手動同軸 微調(diào)/粗調(diào) 焦旋鈕 | 電馬達驅(qū)動： ●聚焦按鈕： 移動速度 8 mm/s（） ●微/粗調(diào)焦旋鈕： 微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn) 一周移動量） 有4檔可供選擇 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm) | 手動同軸 微調(diào)/粗調(diào) 焦旋鈕 | 電馬達驅(qū)動： ●聚焦按鈕： 移動速度 8 mm/s（） ●微/粗調(diào)焦旋鈕： 微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn) 一周移動量） 有4檔可供選擇 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm) | 手動同軸 微調(diào)/粗調(diào) 焦旋鈕 | 電馬達驅(qū)動： ●聚焦按鈕： 移動速度 8 mm/s（） ●微/粗調(diào)焦旋鈕： 微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn) 一周移動量） 有4檔可供選擇 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm) | ||
| 照明 | LED照明 | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 | ||||||
| 鏡筒 | 正像單目鏡筒，正像三目鏡筒(100:0/0:100) | |||||||
| 物鏡 | 測量顯微鏡用 | MM6-OB系列 | ||||||
| 金相顯微鏡用 | MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 | |||||||
| 目鏡 | MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) | |||||||
| 載物臺 | 測量范圍 | STM7-CS50: X軸 50 mm, Y軸 50 mm STM7-CS100: X軸 100 mm, Y軸 100 mm | STM7-CS200: X軸 200 mm, Y軸 200 mm | STM7-CS300: X軸 300 mm, Y軸 300 mm | ||||
| 測量精確度 (L：測量長度) | STM7-CS50: (3+L/50) μm STM7-CS100: (3+2L/100) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/200) μm | |||||
| 精確度保證重量 | STM7-CS50: 5 kg STM7-CS100: 6 kg | 10 kg | 15 kg | |||||
| 計數(shù)器顯示 | 軸數(shù) | 3軸 | ||||||
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | |||||||
| 最小分辨率 | 0.1 μm | |||||||
| 外形尺寸（寬×長×高）（mm） | 466 x 583 x651 | 466 x 583 x 811 | 606 x 762 x 651 | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 686 | 804 x 1024 x 844 | ||
| 重量 | 約84 kg | 約92 kg | 約152 kg | 約159 kg | 約277 kg | 約284 kg | ||
| 額定功率 | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A | ||
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
| 倍率 | 1x | 3x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
| 物鏡 | |||||||||
| 測量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | - | - | - | |
| 金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場 | - | - | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN系列 | 長工作距離 | - | - | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 | |
| MPLFLN-BD系列 | 明場/暗場 | - | - | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | |
| LMPLFLN-BD系列 | 明場/暗場 長工作距離 | - | - | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 | |
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