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熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000

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深圳市汐品科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000

詳細(xì)介紹

概述

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目		內(nèi)容
分辨率		1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 減速模式1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式2
放大倍率		10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	ZrO /W 肖特基式電子槍
	加速電壓	0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn))
	著陸電壓	減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
	束流	> 200 nA
探測(cè)器		低位二次電子探測(cè)器
低真空模式*2		真空范圍: 10 - 300 Pa
馬達(dá)臺(tái)	馬達(dá)臺(tái)控制	5 - 軸自動(dòng) (優(yōu)中心)
	可動(dòng)范圍	X：0～100mm Y：0～50mm Z：3～65mm T：-20～90° R：360°
	樣品尺寸	直徑: 200 mm 高度: 80 mm
選配探測(cè)器		高分辨率頂位二次電子探測(cè)器＊1 高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD) 5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)*3 能譜儀 (EDS) 波譜儀 (WDS) 背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)